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产生含金属膜的方法技术
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文档序号:25811301
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本发明属于制备无机含金属膜的方法的领域。该方法包括使固体基材与呈气态的通式(I)、(II)、(III)或(IV)化合物接触,其中A为NR...
该专利属于巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学所有,仅供学习研究参考,未经过巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学授权不得商用。
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