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本申请实施例公开了一种用于半导体的气体调节柜，所述气体调节柜中设置有多条气体分支管路以及与各条气体分支管路相连的气体总管路，所述气体总管路中设置有混气阀和腔室进气阀，所述混气阀用于对所述气体总管路中的气体进行混气；所述腔室进气阀用于将混气后...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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