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本发明提供一种用于带凸起部晶圆曝光的掩膜板和方法，晶圆朝向掩膜板的一侧设置有至少一个凸起部，掩膜板上设置有图形层和对准标记，掩膜板上朝向晶圆的一面上还开设有能够接纳所述凸起部插入的缺口。利用本发明方法进行曝光前将所述晶圆的所有凸起部插入至所...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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