温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种谐振式微悬臂梁自激振荡自检测传感器，属于微机电系统悬臂梁传感器技术领域，其特征在于，含有一个由选频网络、滤波放大电路、相位补偿电路及驱动电路依次串联构成的一闭环电路，该选频网络由含有压电驱动结构的微悬臂梁、补偿电路、第一运算放大电路、第...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。