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本实用新型公开了一种提高晶体生长速度的风冷管装置,包括发热筒体,所述发热筒体内设置有隔热层,且发热筒体内设置有坩埚本体,所述隔热层底部位于发热筒体内滑动安装有管道,所述管道呈螺旋形环结构设置,且管道一端设置有冷气机,所述冷气机的出风口和管道...该专利属于惠磊光电科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠磊光电科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种提高晶体生长速度的风冷管装置,包括发热筒体,所述发热筒体内设置有隔热层,且发热筒体内设置有坩埚本体,所述隔热层底部位于发热筒体内滑动安装有管道,所述管道呈螺旋形环结构设置,且管道一端设置有冷气机,所述冷气机的出风口和管道...