下载一种半导体生产用防静电存储装置的技术资料

文档序号:25791811

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本实用新型属于半导体生产领域,具体公开了一种半导体生产用防静电存储装置,包括箱体,箱体的底部设有橡胶底座,箱体的顶部设有容纳壳,容纳壳内安装有风机,箱体的顶部设有若干通气孔,通气孔内设有过滤网;箱体的一侧连接有箱门;箱体的内部设置有若干承载...
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