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带栅极的气体传感器制造技术
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文档序号:2578740
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本发明提供了一种用于探测分析物气体的设备。所述设备可包括信号放大器,所述信号放大器可包括薄膜晶体管,所述薄膜晶体管可包括具有半导体特性的膜,所述具有半导体特性的膜可包括能够与所述分析物气体例如一氧化碳产生化学相互作用的金属氧化物。所述设备可...
该专利属于毫微-专卖股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过毫微-专卖股份有限公司授权不得商用。
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