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聚合物介电特性的特征化技术制造技术
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文档序号:2578049
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公开了一种用于在施加的DC电场下、在宽频率和温度范围的聚合物特征化的测试结构。高电阻率硅衬底(40)由粘合层(30)覆盖。聚合物薄膜(20)淀积于图案化金属层1之上,该金属层1淀积于粘合层之上。在聚合物薄膜上淀积顶部金属层2并图案化以形成C...
该专利属于代顿大学所有,仅供学习研究参考,未经过代顿大学授权不得商用。
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