下载电化学传感器的技术资料

文档序号:2577542

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一种电化学传感器,具有包含FET基结构的ISFET,包括源极区(25)、漏极区(26)以及设置在所述源极区(25)与所述漏极区(26)之间的导电槽(13),并且还包括在所述FET基结构上直接形成并完全覆盖所述FET基结构的第一层(21)、在...
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