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本发明涉及半导体技术领域,提供了一种横向双扩散晶体管及其制造方法,该横向双扩散晶体管包括:具有第一掺杂类型的衬底;位于衬底中且具有第一掺杂类型的沟道区;漂移区,位于衬底中且围绕沟道区设置,具有第二掺杂类型;位于衬底上的源极电极和漏极电极,且...该专利属于杰华特微电子(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰华特微电子(杭州)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体技术领域,提供了一种横向双扩散晶体管及其制造方法,该横向双扩散晶体管包括:具有第一掺杂类型的衬底;位于衬底中且具有第一掺杂类型的沟道区;漂移区,位于衬底中且围绕沟道区设置,具有第二掺杂类型;位于衬底上的源极电极和漏极电极,且...