专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
西安交通大学
>
一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法技术
>技术资料下载
下载一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法的技术资料
文档序号:25759930
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法,包括加热台、加热单元和存样台;加热台设于加热单元上方,存样台位于加热单元后端通过直流电源连接样品托板、电刷实现样品托板直流加热;通过直流电源连接加热丝实现样品托板的热辐射加热和...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。