下载一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法的技术资料

文档序号:25759930

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本发明公开了一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法,包括加热台、加热单元和存样台;加热台设于加热单元上方,存样台位于加热单元后端通过直流电源连接样品托板、电刷实现样品托板直流加热;通过直流电源连接加热丝实现样品托板的热辐射加热和...
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