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本发明公开了一种贴膜装置，包括第一压膜台、压紧组件、压膜导轨、第二压膜台、上下料驱动组件、以及压膜驱动机构；压紧组件位于第一压膜台与第二压膜台之间。上下料驱动组件带动第二压膜台移动至人工上料位置或者机械手的上料位置，人工或者机械手将晶圆放置...
该专利属于广东思沃精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东思沃精密机械有限公司授权不得商用。

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