下载一种晶圆级芯片封装方法的技术资料

文档序号:25759900

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本发明涉及半导体封装领域,具体涉及一种晶圆级芯片封装方法,包括:提供待封装晶圆,其第一表面形成有多个芯片焊盘,第二表面覆盖有背金层;形成至少覆盖第一表面以及芯片焊盘表面的第一保护层;形成至少覆盖背金层的背金保护层;开设用以暴露出芯片焊盘的导...
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