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本发明揭示了真空系统测漏方法及用于真空系统的测漏装置，其中方法包括S1,将真空系统通过包括两条支路的测漏管路连接检漏仪；S2，至少打开一条支路的阀体，启动测漏，观察检漏仪的压力值是否满足端口压力要求，若满足，对真空系统的不同测点进行检测；若...
该专利属于苏州镓港半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州镓港半导体有限公司授权不得商用。

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