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本发明公开一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，包括步骤：每间隔25‑35天，取工作槽内槽液总体积的8‑12％，通过膜过滤系统过滤得到清液和浓液，将清液中加入适量抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽，浓液排出；其中，所述膜过滤系统用于过...
该专利属于孙颖睿所有，仅供学习研究参考，未经过孙颖睿授权不得商用。

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