下载一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置的技术资料

文档序号:25748045

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本发明提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置,所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统,采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶,可根据需求对控制系统设置相应参数,精确控制蠕动泵的运行、停...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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