下载一种吸附脱附装置的技术资料

文档序号:25747302

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本实用新型公开了一种吸附脱附装置,包括吸附机构、与吸附机构连通的用于向其中通入加热氮气的进气机构、与吸附机构连通的用于接收脱附后第一气体的冷凝机构;冷凝机构还用于将排出的第二气体通过进气机构循环送入吸附机构中;装置还包括连通在吸附机构和冷凝...
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