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本发明的课题在于减少外部温度变化的影响从而实现高精度的形状测定。本发明的形状测定装置(40)使沿扫描方向排列设置的三个测头(41)沿扫描方向进行扫描从而测量测定对象物(W)的表面形状，其中，三个测头(41)被绝热部件(43)包围在内。通过在...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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