形状测定装置及形状测定方法制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于减少外部温度变化的影响从而实现高精度的形状测定。本发明专利技术的形状测定装置(40)使沿扫描方向排列设置的三个测头(41)沿扫描方向进行扫描从而测量测定对象物(W)的表面形状，其中，三个测头(41)被绝热部件(43)包围在内。通过在三个测头(41)被绝热材料(43)包围在内的状态下进行测定，即使在各个测头(41)的温度特性互不相同的情况下，也能够抑制外部温度变化的影响，从而能够确保高精度的形状测定。

【技术实现步骤摘要】
形状测定装置及形状测定方法本申请主张基于2019年3月18日申请的日本专利申请第2019-050154号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种进行直线度的测定的形状测定装置及形状测定方法。
技术介绍
已知有一种形状测定装置(例如，参考专利文献1)，其利用逐次三点法来求出测量对象物的表面形状，并对直线度进行测定。专利文献1：日本特开2013-195082号公报在上述形状测定装置中，例如，使用三个检测光的发光受光部进行扫描，从而检测出检测光的射出方向上的位移。在上述测定中，对高分辨率且高精度的位移检测的要求较高，但是，各发光受光部的光学系统有时会受到外部温度变化的影响，这有可能会导致检测精度的下降。
技术实现思路
本专利技术的目的在于减少外部温度变化的影响。本专利技术提供一种形状测定装置，其使沿扫描方向排列设置的三个测头沿所述扫描方向进行扫描从而测量测定对象物的表面形状，所述形状测定装置构成为，所述三个测头被绝热材料或绝热部件包围在内。并且，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形状测定装置，其使沿扫描方向排列设置的三个测头沿所述扫描方向进行扫描从而测量测定对象物的表面形状，所述形状测定装置的特征在于，/n所述三个测头被绝热材料或绝热部件包围在内。/n

【技术特征摘要】
20190318 JP 2019-0501541.一种形状测定装置，其使沿扫描方向排列设置的三个测头沿所述扫描方向进行扫描从而测量测定对象物的表面形状，所述形状测定装置的特征在于，
所述三个测头被绝热材料或绝热部件包围在内。


2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，
使用所述三个测头并利用三点法来测量测定对象物的表面形状。


3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，
还具备一体地支承所述三个测头的夹具，
所述三个测头及所述夹具一同被所述绝热材料或所述绝热部件包围在内。


4.根据权利要求1至3中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高娜，宫武勤，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP