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本发明公开了一种微束微区Ｘ射线探针分析仪，采用了Ｘ光管与聚焦毛细管的方式产生Ｘ射线对待检测样品微区进行特征Ｘ射线激发，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，获取样品微区的图像信息，ＸＲＦ能谱仪实现样品的Ｘ射线检测，并...
该专利属于成都理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过成都理工大学授权不得商用。

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