【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种探针分析仪，尤其涉及一种微束微区x射线探针分析仪。
技术介绍
目前现有的电子探针x射线显微分析仪主要有电子光学系统，x谱仪结构 和信息记录显示系统构成。参见图i提供的是现有的电子x射线探针分析仪的电子光学镜筒的结构，该电子光学镜筒主要包括样品台l、样品托盘2、样品室 3、样品更换室4、通用电子探测器5、后散射电子探测器6、物镜7、扫描线圈8、 目标抖动选择9、放大压縮目镜IO、对齐线圈ll、电子枪室12、阳极13、电缆 14及电子枪15;首先将导电处理后的样品放入到样品操作台1上的样品盘2中， 需要操作人员通过光学镜筒人为的寻找待测样品微区，根据当前的相对偏移， 手动调整样品操作台外部X、 Y、 Z三轴控制手柄，通过调节手柄的位置进而控 制样品操作台的位置，最终定位到待检测样品的微区。当定位结束后，启动数 码相机系统，进行图像采集，最后开始激发高能电子束对待检测样品的微区进 行特征X射线的激发，再使用能谱仪或波谱仪进行元素分析，将分析结果存档 禾口显示。所述电子光学系统又称镜筒，镜筒部分与扫描电子显微镜功能相同，都是完成光学信号的放大和成像。x...
【技术保护点】
一种微束微区Ｘ射线探针分析仪，采用了Ｘ光管与聚焦毛细管的方式产生Ｘ射线对待检测样品微区进行特征Ｘ射线激发，其特征在于，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，ＸＲＦ能谱仪，多轴步进电机驱动器及运动控制器、ＰＣ上位机软件系统与电源系统，其中电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，并获取样品微区图像信息；ＸＲＦ能谱仪，接收来自电子微动测量平台表面样品的被Ｘ光管激发后的特征Ｘ射线，实现样品的Ｘ射线检测，并形成Ｘ能谱，然后将能谱曲线发送到ＰＣ机；多轴步进电机驱动器及运动控制器实现对多个步进电机的精确运动控制及驱动；ＰＣ上位机软件系统，通过ＵＳＢ端口发送控制命令，控制多个步进电机的运...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：葛良全，孙传敏，杨健，曾国强，赖万昌，程峰，
申请(专利权)人：成都理工大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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