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本实用新型涉及一种适用于超薄硅片的腐蚀装置，属于集成电路或分立器件制造技术领域。包括机座和腐蚀花篮，所述机座上设有第一转轴，所述第一转轴上固定设有两摆臂，所述摆臂下方设有酸槽和水槽，所述酸槽和水槽沿水平平行设置，所述腐蚀花篮转动设于两摆臂之...
该专利属于江阴新顺微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴新顺微电子有限公司授权不得商用。

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