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本发明提供一种设备与方法，其利用至少二个传感器（１４０Ａ、１４０Ｂ）以沿着移动基材的至少二平行边缘的长度而侦测此基材缺陷，例如损毁或偏位的存在。在一实施例中，该设备包含一种传感器设置，此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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