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本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域，公开了一种碳化硅生产设备，包括：炉体，炉体内设有用于放置坩埚的容置空间；套设于炉体外周侧的加热线圈；与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中...
该专利属于北京京运通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京运通科技股份有限公司授权不得商用。

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