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接近式曝光装置具备：非曝光用光照明单元(100)，其配置于比平面反射镜(68)更靠灯单元(60)侧，使包含第2波长区域的非曝光用光与从灯单元(60)出射的光的光轴同轴地照射，包含第2波长区域的非曝光用光与使工件(W)的感光材料感光的包含第1...
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