专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
ASML荷兰有限公司
>
光学测量方法和传感器设备技术
>技术资料下载
下载光学测量方法和传感器设备的技术资料
文档序号:25718092
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种使用光学传感器设备(15)的光学测量方法,所述光学传感器设备包括光学元件(20)、光检测器(26)以及支撑件(30),所述光学元件包括被配置成选择性地透射入射辐射的标记(22),所述光检测器被配置成接收由所述标记透射的辐射并且提供指示所...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。