下载MRAM的制备方法的技术资料

文档序号:25713246

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本发明提供一种MRAM的制备方法。所述方法包括:在衬底上形成底电极层并图形化所述底电极层以形成多个底电极;通过沉积工艺形成磁性隧道结堆叠件,使得在所述底电极的顶面上形成所述磁性隧道结堆叠件的第一部分,并且在与所述底电极的顶面不同的水平面上形...
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