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包括存储器单元和在存储器单元之间的屏蔽材料的集成组合件及其形成方法技术
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下载包括存储器单元和在存储器单元之间的屏蔽材料的集成组合件及其形成方法的技术资料
文档序号:25713090
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本申请案涉及包括存储器单元及在所述存储器单元之间的屏蔽材料的集成组合件,以及形成集成组合件的方法。一些实施例包含具有埋置式字线、屏蔽板和存取装置的存储器装置。所述存取装置包含第一扩散区域和第二扩散区域以及沟道区域。所述扩散区域和所述沟道区域...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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