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一种微波集成电路(1)，包括：半导体基板(3)；多个放大单元，形成在半导体基板中；布线(W3)，形成在除半导体基板上形成的多个层布线(19a‑19d)中的最上面的层布线(19d)和最下面的层布线(19a)以外的一个层布线(19c)中并向多个...该专利属于住友电工光电子器件创新株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电工光电子器件创新株式会社授权不得商用。
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一种微波集成电路(1)，包括：半导体基板(3)；多个放大单元，形成在半导体基板中；布线(W3)，形成在除半导体基板上形成的多个层布线(19a‑19d)中的最上面的层布线(19d)和最下面的层布线(19a)以外的一个层布线(19c)中并向多个...