下载互连结构的制作方法及器件的技术资料

文档序号:25712810

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本申请公开了一种互连结构的制作方法及器件,该器件包括:第一金属层,其包括铜;接触通孔,其形成于第一金属层上,其从内向外依次包括铝芯、粘附层和铜阻挡层;第二金属层,其形成于接触通孔上,第二金属层包括铝。本申请通过将器件的互连结构的上层金属层设...
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