下载一种具有升降支撑台的半导体清洗装置的技术资料

文档序号:25712794

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本发明公开了一种具有升降支撑台的半导体清洗装置,清洗箱的上侧壁中心成型有矩形槽状的进料口;一对冲洗移动座左右移动设置在清洗箱的上侧壁上;一对冲洗移动座的下端面上分别设置有向内倾斜设置的冲洗喷头;一对水箱固定在清洗箱的上端面左右两端;水箱用于...
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