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一种具有升降支撑台的半导体清洗装置制造方法及图纸
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下载一种具有升降支撑台的半导体清洗装置的技术资料
文档序号:25712794
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本发明公开了一种具有升降支撑台的半导体清洗装置,清洗箱的上侧壁中心成型有矩形槽状的进料口;一对冲洗移动座左右移动设置在清洗箱的上侧壁上;一对冲洗移动座的下端面上分别设置有向内倾斜设置的冲洗喷头;一对水箱固定在清洗箱的上端面左右两端;水箱用于...
该专利属于咸宁恒舟信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过咸宁恒舟信息科技有限公司授权不得商用。
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