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一种高精度微量气体泄漏检测装置，该装置包括气源、气源处理设备、气源电磁换向阀，气源电磁换向阀通过第一电磁换向阀连通标准密封件，通过第二电磁换向阀连通被测密封件，标准密封件与被测密封件之间设有高精度压差传感器，各个电磁换向阀以及高精度压差传感...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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