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本发明涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种晶片切割工具检测系统及方法，包括图像摄取模块，用于获取被测轮轴圆周面的图像；图像对比模块，用于将图像摄取模块获取的图像与预设图像特征库对比，得出被测轮轴圆周面图像的缺陷特征位置及缺陷特征类型。本发明实...
该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。

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