下载一种竖式微型红外气体传感器的技术资料

文档序号:25705967

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本申请提供一种竖式微型红外气体传感器,包括:微型光学气室、红外光源、红外探测器、信号转接板和ASIC芯片;微型光学气室集成于信号转接板的一侧,ASIC芯片集成于信号转接板的另一侧;红外光源和红外探测器集成于信号转接板上与微型光学气室连接的一...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所;山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所;山东大学授权不得商用。

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