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本发明涉及一种晶圆检测红外光转向机构及方法，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试...
该专利属于苏州舜治自动化机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州舜治自动化机械设备有限公司授权不得商用。

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