下载真空大容量电控比例阀的技术资料

文档序号:25704890

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一种真空大容量电控比例阀,包含由阀底座、中阀座、导引座构成的本体,本体具有一真空压力腔,该真空压力腔内具有一主膜片,该主膜片嵌设具真空阀门组的一先导排气直杆,该导引座内具有连通真空压力腔的一调整通道,一先导大气通道设于中阀座内通连至主膜片下...
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