下载含银金属膜用蚀刻液组合物的技术资料

文档序号:25703419

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本发明提供含银金属膜用蚀刻液组合物,包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水。根据本发明的蚀刻液组合物包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水,对于用作显示设备的反射板或配线的含银(Ag)或银合金金属膜,抑制下部膜受损,并且在形成微细配线时,能够最小化不良偏差及碎...
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