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含银金属膜用蚀刻液组合物制造技术
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文档序号:25703419
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本发明提供含银金属膜用蚀刻液组合物,包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水。根据本发明的蚀刻液组合物包含硝酸、聚磺酸、有机酸及水,对于用作显示设备的反射板或配线的含银(Ag)或银合金金属膜,抑制下部膜受损,并且在形成微细配线时,能够最小化不良偏差及碎...
该专利属于易安爱富科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过易安爱富科技有限公司授权不得商用。
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