下载一种靶材二次利用方法的技术资料

文档序号:25703390

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本发明公开了一种靶材二次利用方法,包括:提供靶材组件,所述靶材组件包括背板及与背板连接的待回收靶材,其中,所述待回收靶材上具有被轰击区域,所述被轰击区域的厚度小于其他区域;加工靶材组件,使所述背板与待回收靶材分离;将所述待回收靶材依被轰击区...
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