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本发明是关于用于清洁腔室的一种装置和方法，尤其是关于用于清洁腔室的装置和方法，其中此装置和方法能够在薄膜沉积于基板时清洁被污染的腔室。根据示例性实施例的腔室清洁方法为一种用于清洁沉积氧化锌的腔室的方法，此方法包含：供应含氯气体和含氢气体到腔...
该专利属于周星工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司授权不得商用。

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