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用于形成三维光场分布的光学器件制造技术
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下载用于形成三维光场分布的光学器件的技术资料
文档序号:25696600
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一种用于形成三维光场分布的光学器件,包括:可单独寻址的单位晶格的阵列;该单位晶格的阵列中的每一个单位晶格包括堆叠,该堆叠包括:至少一个电极;以及共振限定层,包括至少相变材料(PCM)层,其中该共振限定层被图案化以限定几何结构,该几何结构被确...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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