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本实用新型公开了一种椭偏仪的测试台面，其用于放置测试样品需要测试的硅片，包括水平台面、凹槽、第一定位组件、第二定位组件、第三定位组件和第四定位组件，所述凹槽为矩形，以所述水平台面的圆心为对称中心，所述凹槽的对称轴分别为轴A和轴B，所述第一定...
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