下载一种正入射式反射光相位信息表征光路系统及方法的技术资料

文档序号:25687653

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本发明涉及一种正入射式反射光相位信息表征光路系统及方法,光路系统由光路a与光路b两部分光路组成,包括激光器、起偏器、偏振分束器、第一1/4波片、第一样品台、第二1/4波片、第二样品台、第三1/4波片、检偏器、衰减器、探测器。光束经过偏振分束...
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