下载真空密封性检测装置的技术资料

文档序号:2568219

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本实用新型公开了一种真空密封性检测装置,主要包括真空泵,第一截止阀、第二截止阀,真空压力表,真空源容器,其中真空源容器一端与真空泵之间通过第一截止阀形成密封联通,另一端用来与被检测元器件形成密封联通,真空压力表与真空源容器形成密封联通,尤其...
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