下载一种硅片截面试样的制备方法的技术资料

文档序号:25677797

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本发明涉及金相制样领域,提供一种硅片截面试样的制备方法,用于解决硅片易崩碎的问题。本发明提供的一种硅片截面试样的制备方法,包括:S10.取硅片,采用金刚石刀片进行切割,得到预处理硅片;S20.采用金刚石磨片对预处理硅片进行研磨,得到研磨后的...
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