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一种硅片截面试样的制备方法技术
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文档序号:25677797
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本发明涉及金相制样领域,提供一种硅片截面试样的制备方法,用于解决硅片易崩碎的问题。本发明提供的一种硅片截面试样的制备方法,包括:S10.取硅片,采用金刚石刀片进行切割,得到预处理硅片;S20.采用金刚石磨片对预处理硅片进行研磨,得到研磨后的...
该专利属于广州领拓仪器科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州领拓仪器科技有限公司授权不得商用。
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