温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种化学机械平坦化设备。包括研磨组件、冲刷单元和传输组件，研磨组件用于研磨加工件，其包括多个研磨机构，每个研磨机构上分别设置有适于抓取加工件的连接臂，相邻研磨机构设置有不同规格的研磨垫；相邻研磨机构间设...
该专利属于北京烁科精微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科精微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。