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本发明提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件（８）。其中，在设置于基板保持架本体（２）的开口部（３）内的多个棂条（４）之间，压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶（９）。...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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