基板保持架制造技术

本发明专利技术提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件（８）。其中，在设置于基板保持架本体（２）的开口部（３）内的多个棂条（４）之间，压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶（９）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及大型基板保持架，该保持架例如用于保持液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)、有机EL(场致发光)显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板。
技术介绍
例如，随着近年来液晶显示器技术的进步，用于液晶显示器的玻璃基板的尺寸已大型化，例如达到了1m×1m以上。这样的玻璃基板，在液晶显示器的制造工序中，被置于基板保持架上进行缺陷检查。用于缺陷检查的基板保持架，例如被记载在日本专利特开平9-189641号公报中。特开平9-189641号公报中的结构，是在基板保持架框内设置了多个棂条(桟)。缺陷检查，则进行照亮玻璃基板根据检查员的目视来检查缺陷部分的宏观检查、以及将通过该宏观检查查出的缺陷部分用显微镜放大进行检查的微观检查。但是，玻璃基板虽然被置于基板保持架上，但因例如人的移动等外在原因产生的振动被传递到基板保持架上，使玻璃基板振动。此外，玻璃基板的振动不仅受人移动的影响，例如受到向清洁室流动的顺流风压而振动，或者受到移送玻璃基板的装卸动作时产生的振动的影响、来自衬地栅条(grating floor)等的振动而振动。并且，还因基板保持架本身的移动等内在原因产生振动，使得玻璃基板振动。基板保持架为保持尺寸例如为1m×1m以上的大型玻璃基板而大型化，被设置在保持架框内的各棂条的长度也变长。因此，这些棂条以微小的振动共振，其振动变大，使玻璃基板振动。该振动中含有低频振动和高频振动。而且，由于玻璃基板被形成为板厚度较薄，因此易受到基板保持架的振动。这样若玻璃基板振动，则在检查玻璃基板时，例如进行微观检查时通过显微镜观察到的缺陷部分的放大图像振动，放大图像的观察性能恶化。尤其是，随着显微镜倍率的放大，通过显微镜观察到的放大图像，即使受到微小的振动或微弱的顺流风压也会产生例如微小的振动。因此，放大图像的观察性能恶化，对于检查玻璃基板来说成为不合格图像。其结果，不能够以充分的精度来进行缺陷部分的微观检查和玻璃基板上的线宽度测定。作为防止这样的玻璃基板的振动的方法，例如有在基板保持架上全面吸附玻璃基板的方法，以及如专利文献1中所记载地将构成基板保持架的多个棂条用金属构件来构成的方法等。但是，在全面吸附玻璃基板的方法中，玻璃基板的背面侧被基板保持架挡住，不能从玻璃基板的背面侧照射透过照明光。因此，不能利用透过照明来进行玻璃基板的缺陷检查。此外，在将专利文献1中所示的棂条由金属构件构成的方法中，因金属构件为刚体，所以容易振动。
技术实现思路
根据本专利技术的主要观点，本专利技术提供的大型基板保持架具有框状载物台(ステ一ジ)；多个棂条(桟)，其被设在该载物台框内、用于水平地载置大型基板，设有振动吸收装置，吸收各棂条之间因外在原因和内在原因产生的振动。本专利技术的大型基板保持架，具有框状的载物台和多个棂条，所述棂条用于水平地载置被设在所述载物台框内的大型基板，其特征在于，在所述各棂条之间设置有振动吸收装置，该振动吸收装置吸收外在原因及内在原因的振动。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部，并且设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内并列设置有多个所述棂条。所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内以同心圆状设置有多个所述棂条。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并在所述载物台框内相互平行地被配置多列。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并被配置成通过所述载物台框内的中央部的一条直线状。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置在所述各棂条的各个之间分别被分散配置。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置具有形成为比所述各棂条的间隔长的所述弹性体，并将所述弹性体压入所述各棂条之间。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体为橡胶。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由高分子的橡胶所形成。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由树脂、振动吸收涂料或凝胶状物质所形成。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体的长度、高度以及宽度，分别对应于由外在原因以及内在原因产生的所述基板保持架自身的振动大小而被形成。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体吸收并衰减在纵向、横向以及高度方向上产生的振动。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上施加了罩体。所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上进行了涂敷。所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述弹性体表面进行了聚乙烯的涂敷。附图说明图1是示出本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式的结构图。图2A是本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中保持台上安装基板吸引构件及支承销的结构图。图2B是本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中保持台上安装基板吸引构件及支承销的结构图。图3是本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中振动吸收构件的分解结构图。图4是在本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的状态的图。图5A是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中橡胶的上下罩体的图。图5B是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中橡胶的上下罩体的图。图6是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中在基板保持架本体的中央部安装了振动吸收构件的变形例的结构图。图7是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中分散安装振动吸收构件的变形例的结构图。图8是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的嵌入变形例的结构图。图9是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的嵌入变形例的结构图。图10是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第2实施方式的正面结构图。图11是表示本专利技术涉及的大型基板保持架的第2实施方式的上面结构图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的第1实施方式。图1是大型基板保持架的结构图。该大型基板保持架，例如适用于对平板显示器的大型玻璃基板1的表面进行检查的表面检查装置中。基板保持架本体2被形成为框状。在该基板保持架本体2的开口部3内，沿X方向架设了多个棂条(桟)4。这些棂条4，在基板保持架本体2的开口部3内，以预定间隔并列设置在相互对置的两边之间。这些棂条4由相互的板面相向配置的2片带状保持板4a、4b构成。在这些保持板4a、4b之间，形成有用于透过照明光通过的空间部4c。在这些保持板4a、4b之间，例如也可以夹入透明的防护材料。在基板保持架本体2的开口部3内的预定位置，例如与中央部分对应的各棂条4上，设置有多个基板吸引构件5。此外，在各棂条4上设置有多个支承销6，用以水平地保持玻璃基板1。图2A和图2B为示出在棂条4上安装基板吸引构件5和支撑销6的结构图。图2A为从上方看的结构图，图2B为侧面图。这些基板吸引构件5和支承销6，以预定间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大型基板保持架，具有框状的载物台和多个棂条，所述棂条用于水平地载置被设在所述载物台框内的大型基板，其特征在于，在所述各棂条之间设置有振动吸收装置，该振动吸收装置吸收外在原因及内在原因的振动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：城崎修哉，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]