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本实用新型有关于一种光阻涂布装置，用以形成一光阻层于一基材上，包括一基材固持构件，用以固持一基材；一旋转构件，水平设置于基材固持构件的至少一接合部处，其中旋转构件用以转动或线性移动基材固持构件；以及一喷淋构件，设置于基材固持构件的上方，并沿...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。

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