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一种过程气体泄漏源检测系统。一开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统设置于该厂半导体制造厂的回风处，用以检测泄漏气体，并且通过一通信网络将检测所得的气体成份信息传送至该数据服务器。一多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统设置于该厂半导...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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