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本实用新型涉及一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件，包括与氢气输入端相连的进气阀，所述的进气阀同时连接静态气路和载气气路，所述的静态气路上设置有静态手动阀、静态常开气动阀和静态调压阀，所述的载气气路上设置有常闭气动阀和载气调压阀，所述的静态气路...
该专利属于金瑞泓微电子(衢州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金瑞泓微电子(衢州)有限公司授权不得商用。

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